等離子清潔機又稱等離子清洗機，又稱等離子表面處理儀，是一項高新技術，利用等離子體達到傳統(tǒng)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態(tài)，也稱為物質的第四種狀態(tài)，它不屬于常見的固體、液體和氣體三種狀態(tài)。

　　當氣體以足夠的能量電離時，就會出現(xiàn)等離子體狀態(tài)。等離子體中的“活性”成分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子體清洗機就是利用這些活性組分的性質對樣品表面進行處理，然后完成清洗、涂層等目的。等離子體產(chǎn)生條件：反應氣體和反應壓力滿足。

　　反應產(chǎn)物必須能高速撞擊清洗物體表面，并有滿意的能量供應。反應后產(chǎn)生的物質必須是揮發(fā)性的精細組合，以便于真空泵將其抽走。泵的容量和轉速必須滿足大的要求，這樣才能迅速排出反應副產(chǎn)物，并需要快速補充反應所需的氣體。

　　為什么等離子清洗機有臭味?答案是：臭氧。等離子體放電過程中產(chǎn)生臭氧的基本原理是低溫等離子體大氣中的含氧氣體在放電反應器中形成，氧分子被具有一定能量的自由電子分裂成氧原子，臭氧分子之間也發(fā)生了碰撞反應。臭氧，其化學式為O3，又稱為三氧和超氧物。

　　因其腥味而得名，在室溫下可還原為氧氣。它比氧的比重大，溶于水，易于鑒別。因為臭氧是由氧分子和一個氧原子組成的，它只是一種暫時的狀態(tài)。除了被氧化消耗外，剩余的氧原子被結合成穩(wěn)定狀態(tài)，因此不會對臭氧造成二次污染。如果我們通過含氧氣體，那么在反應過程中會發(fā)生少量的臭氧，正是因為臭氧的出現(xiàn)，所以我們在使用等離子清洗機時有時會聞到一股異味，這就是為什么等離子清洗定時會有異味。